SiC кераміка

Кераміка з карбіду крэмнію ўсё часцей выкарыстоўваецца ў паўправадніковым абсталяванні, галоўным чынам таму, што яна лепш вытрымлівае больш жорсткія ўмовы. Калі тэмпература павышаецца або працэс становіцца больш агрэсіўным, такія матэрыялы, як кварц або крэмній, могуць пачаць дэманстраваць абмежаванні, і менавіта тут звычайна прыходзіць на дапамогу карбід крэмнію. У печавых працэсах, такіх як акісленне або дыфузія, такія дэталі, як пласцінныя лодачкі або лапаткі, вырабленыя з карбіду крэмнію, як правіла, служаць даўжэй. Яны захоўваюць сваю форму і не прыносяць моцнага забруджвання нават пасля працяглых прац. Па гэтай прычыне людзі часта пераходзяць з кварца, асабліва калі тэхнічнае абслугоўванне становіцца занадта частым.

Для травлення часта выбіраюць карбід крэмнію проста таму, што ён даўжэй вытрымлівае плазму. Розніца ў тэрміне службы ў параўнанні з крамянёвымі дэталямі прыкметная ў многіх устаноўках, хоць яна ўсё яшчэ залежыць ад канкрэтнага працэсу. Гэта таксама крыху дапамагае з кантролем часціц, які становіцца больш адчувальным па меры памяншэння вузлоў. Вы таксама ўбачыце карбід крэмнію, які выкарыстоўваецца ў якасці тассептараў у MOCVD або CVD. У гэтых выпадках гаворка ідзе не столькі пра «трываласць», колькі пра падтрыманне стабільнасці тэмпературных паводзін. Акрамя гэтага, ён з'яўляецца ў дэталях камеры, такіх як укладышы або душавыя лейкі, а часам і ў кампанентах для апрацоўкі.