CVD карбід крэмнію (SiC) пакрыццё

CVD SiC-пакрыццё — гэта, па сутнасці, пласт карбіду крэмнію, нанесены на графіт, і яно шырока выкарыстоўваецца ў эпітаксійных інструментах, дзе важныя як тэмпература, так і чысціня. У рэальных вытворчых лініях вы часта ўбачыце яго ў сістэмах AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, а таксама на некаторых платформах, звязаных з AMAT. Яго карысным робіць не толькі тэмпературная ўстойлівасць, але і агульная стабільнасць падчас працяглых прабегаў. У тыповых умовах эпітаксіі — вадарод, аміяк або нават хлараваныя газы — пакрыццё застаецца адносна стабільным і абараняе графіт пад ім. Гэта дапамагае падтрымліваць больш стабільнае цеплавое поле і памяншае верагоднасць з'яўлення часціц падчас росту.

Часцей за ўсё пакрыццё наносіцца на такія дэталі, як сусцэптары, носьбіты пласцін, графітавыя кольцы або паўмесяцавыя кампаненты. Усе яны непасрэдна ўдзельнічаюць у награванні або пазіцыянаванні пласцін, таму любая невялікая нестабільнасць можа паўплываць на выхад. Па гэтай прычыне пакрытыя дэталі часта разглядаюцца як расходныя матэрыялы, якія павінны быць надзейнымі на працягу некалькіх цыклаў, асабліва пры вытворчасці ад 4 да 12 цаляў.