Шкловугляроднае пакрыццё

Шклопадобны вуглярод звычайна выкарыстоўваецца, калі чысціня становіцца больш важнай. Ён стварае больш гладкую і інэртную паверхню графіту, што дапамагае паменшыць утварэнне часціц падчас працы.

Вы ўбачыце яго ў такіх прымяненнях, як рост крышталяў крэмнію, эпітаксія або MOCVD-сусцэптары. У некаторых выпадках ён таксама выкарыстоўваецца па-за паўправаднікамі, напрыклад, у металургічнай оснастцы.

Адзін цікавы выпадак выкарыстання — сістэмы MBE. Дзякуючы больш высокаму электрычнаму супраціўленню, яно можа дапамагчы пэўным кампанентам больш эфектыўна дасягнуць працоўнай тэмпературы, часам без неабходнасці дадатковага астуджэння. Гэта не самае распаўсюджанае пакрыццё, але ў пэўных асяроддзях, асабліва там, дзе жорстка кантралюецца забруджванне, яно можа быць практычным варыянтам.