Пакрыццё з піралітычнага графіту (PG).
Пакрыццё PyC часцей за ўсё выкарыстоўваецца ў сістэмах вырошчвання крышталяў SiC, асабліва ў печах PVT. Гаворка ідзе не пра павышэнне тэмпературных абмежаванняў, а хутчэй пра паляпшэнне паводзін графітавых дэталяў з цягам часу.
Пакрыццё ўтварае адносна аднастайны пласт на такіх кампанентах, як накіроўвальныя кольцы патоку або ізаляцыйныя канструкцыі. Гэта дапамагае паменшыць пранікненне газу і абмяжоўвае забруджванне, звязанае з вугляродам, якое ў адваротным выпадку можа паўплываць на асяроддзе росту.
У рэальным выкарыстанні найбольш распаўсюджанымі, верагодна, з'яўляюцца накіроўвальныя кольцы з пакрыццём з полікарбіду, але тая ж ідэя датычыцца і апорных кольцаў або цеплавых экранаў. Для многіх карыстальнікаў мэта тут простая — падтрымліваць стабільнасць сістэмы на працягу працяглых цыклаў, а не імкнуцца да больш высокай тэмпературы.

EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ


