усе раздзелы
Пакрыццё з піралітычнага графіту (PG).

Пакрыццё з піралітычнага графіту (PG).

Пакрыццё PyC часцей за ўсё выкарыстоўваецца ў сістэмах вырошчвання крышталяў SiC, асабліва ў печах PVT. Гаворка ідзе не пра павышэнне тэмпературных абмежаванняў, а хутчэй пра паляпшэнне паводзін графітавых дэталяў з цягам часу.

Пакрыццё ўтварае адносна аднастайны пласт на такіх кампанентах, як накіроўвальныя кольцы патоку або ізаляцыйныя канструкцыі. Гэта дапамагае паменшыць пранікненне газу і абмяжоўвае забруджванне, звязанае з вугляродам, якое ў адваротным выпадку можа паўплываць на асяроддзе росту.

У рэальным выкарыстанні найбольш распаўсюджанымі, верагодна, з'яўляюцца накіроўвальныя кольцы з пакрыццём з полікарбіду, але тая ж ідэя датычыцца і апорных кольцаў або цеплавых экранаў. Для многіх карыстальнікаў мэта тут простая — падтрымліваць стабільнасць сістэмы на працягу працяглых цыклаў, а не імкнуцца да больш высокай тэмпературы.

    Гарачыя катэгорыі