Кварцавыя дэталі

Кварц усё яшчэ паўсюль выкарыстоўваецца ў апрацоўцы паўправаднікоў. Ён не новы, але надзейны, і большасць заводаў знаёмыя з яго паводзінамі. Пакуль чысціня кантралюецца, ён добра працуе на этапах дыфузіі, акіслення і ачысткі.

Шмат кварцавых дэталяў выкарыстоўваецца ў печах або інструментах PECVD. Галоўнае патрабаванне — стабільнасць — не абавязкова працяглы тэрмін службы, але прадказальная працаздольнасць. Звычайна гэтага дастаткова для многіх стандартных працэсаў.

Вядома, кварц мае свае абмежаванні. Ён можа хутчэй зношвацца ў пэўных умовах, асабліва ў параўнанні з карбідам крэмнію. Але, паколькі яго адносна лёгка знайсці, і ён не занадта дарагі, людзі ўсё яшчэ выкарыстоўваюць яго даволі часта.